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18新利登陆泵的抽气原理与分类
作者:  发布时间:2013-6-12  浏览次数:2111  

五、18新利登陆泵

    18新利登陆泵是利用18新利登陆(低于100K)表面冷凝和吸附气体来获得和保持真空的泵。

1.18新利登陆泵的抽气原理与分类
    北方的冬天,在玻璃窗上常结一层霜,这就是18新利登陆抽气作用。水蒸汽凝结在oC以下的玻璃表面上,

使空气中水蒸汽的分压强降低了,达到了抽除水蒸汽的目的。同理,如果设法使某一固体表面温度足够低,使其低于空气中主要气体成分的饱和蒸汽压温度,空气中大部份气体被凝结,达到了抽真空的目的。按这种原理抽真空的泵叫18新利登陆冷凝泵。
    利用18新利登陆表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附而达到抽气作用的泵叫作18新利登陆吸附泵。根据所用吸附剂不同,又可分为三种类型:1)非金属吸附剂泵:以活性炭、分子筛等为吸附剂。2)金属吸附剂泵:以蒸发或升华在冷面上的钛、钽、铝等金属或其合金为吸气剂。3)气体霜也有类似吸附剂一样的吸气作用,象二氧化碳、水蒸汽等易冷凝的气体,在18新利登陆表面上凝结的同时,将不易冷淀的气体(如氦)也一起埋葬或吸附抽除。
    如果按供18新利登陆介质的方式分类,又可分为贮槽式、连续流动式和闭循环小型制冷机18新利登陆泵。

2.18新利登陆泵的结构
    6是一种18新利登陆冷凝泵。它由三种部件组成,一是由18新利登陆介质(液氦)冷却的抽气表面;二是各种形状和温度的辐射屏(图中是人字形障板,液氮温度);三是泵体。
    实际应用的18新利登陆泵常将18新利登陆冷凝与吸附作用结合起来,构成如图7所示的结卡勾。对各种气体都能抽除。
    8是闭循环小型制冷机18新利登陆泵。它由18新利登陆泵、压缩机和膨胀机等部份组成。制冷介质氦气由压缩机压缩,经进气管到膨胀机。这时进气阀门打开,膨胀机活塞在专用电机带动下向上运动,使膨胀机下腔充满高压气体。当活塞到达上部顶端时,关闭进气阀,同时打开排气阀,使膨胀机与低压端相通,气体膨胀制冷,活塞向下移动把冷量贮存在活塞内的蓄冷器中。如此多次循环,便在一、二级冷头处分别获得低于80K20K的18新利登陆和所需的制冷功率,并使气体在18新利登陆面上凝结,在活性炭上吸附而被抽除。

3.18新利登陆泵的特性
    1)18新利登陆冷凝泵的理论抽速:

式中 A为冷却面的面积cm2Tg为被抽气体温度KM为被抽气体分子量;R为气体常数。如果抽20oC空气,则Smax= 11.6A(L/scm2),若冷面为9m2,其最大抽速可达106(Ls)
    2)18新利登陆冷凝泵的实际抽速:
    (7)式可见,最大理论抽速与容器中的压强和冷面温度无关,这是不可能的。实际上对18新利登陆冷凝泵来说,当被冷凝泵抽除的气体压强等于冷凝物在18新利登陆表面温度下的平衡压强时,冷凝泵就失去了抽气能力,抽速为零。因此,泵的实际抽永远小于理论抽速。
    (1)被抽气体压强和冷面温度对抽速的影响:
        
式中Pg为被抽气体压强(Pa)Ps为在冷面温度下,被抽气体的蒸汽压强(Pa)Ts为冷面温度(K)
    (2)凝结系数对冷凝泵抽速的影响:
        Sa= a·Spt    (9)
式中 a是凝结系数,其值受很多因素影响。一般由实验确定。例如300KH2O,打在77K冷面上a=0.92He打在4.2K5A分子筛上a=0.7H2打在4.2K铜板上a=0.50.75等等。
    (3)屏蔽通导对抽速的影响:18新利登陆泵为减少18新利登陆介质消耗,减轻18新利登陆板的热负荷,往往在18新利登陆板周围加上辐射屏,这时18新利登陆泵的抽速要受到辐射屏流导的影响。
    1/Su = 1/Sa + 1/u    (10)
式中Su为考虑辐射屏后18新利登陆泵的抽速(Ls);u为辐射屏的通导(Ls)Sa为无辐射屏18新利登陆板的实际抽速(Ls)
    (4)凝结层对冷凝泵抽速的影响:冷凝泵在工作一段时间以后,18新利登陆表面上将凝结一定厚度的固态气体层。对冷凝泵的抽速有一定影响。其影响主要取决于冷凝层的性质,也就是取决于冷凝层的结构和类型。冷凝层的导热率是冷凝层的类型和结构的复杂函数。如果沉积速率低,冷凝层可以有一个玻璃状外表,凝结层热传导好,对抽速几乎无影响;如果沉积速率高,冷凝层出现类似雪花状结构,热传导不好,会降低抽速,但对捕集非凝结性气体是有利的。
    3)18新利登陆冷凝泵的极限压强
    达到极限压强时,泵的抽速为零。从(8)式可得:


式中Pg为极限压强(Pa)Tg为被抽气体温度(K)Ts为冷凝面温度(K)Ps为冷凝物上的蒸汽压(Pa),其值随温度而变化。
    18新利登陆泵的极限真空度可达l0-3Pa
    4)18新利登陆泵的降温时间:降温时间是闭循环小型制冷机18新利登陆泵的主要技术指标之一。降温时间与技术水平有关,还要考经济性。目前国内外的产品中,小型泵的降温时间一般不超过90min,大型泵不超过180min
    

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